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三星电子2025年4F2 VCT DRAM原型研发目标:开启3D内存新时代

三星(SAMSUNG) 2024-05-21 17:31:52 爱吃爆米花

5月21日消息,三星电子执行副总裁李斯宇在IEEE国际微波研讨会(IEEE IMW)2024上透露,公司正致力于4F2 VCT DRAM技术的前沿开发,并预期于2025年内展示该创新型DRAM原型。

目前 3D DRAM 领域商业化研究集中在两种结构上:

一种是 4F2 VCT(Vertical Channel Transistor,垂直通道晶体管) DRAM;另一种是 VS-CAT(Vertical Stacked-Cell Array Transistor,垂直堆叠单元阵列晶体管) DRAM。

前者主要是在 DRAM 单元结构上向 z 方向发展,后者则是类似 3D NAND 一样堆叠多层 DRAM。

市面现有的 DRAM 内存采用 6F2 结构,换用 4F2 结构可缩减约 30% 面积,提高存储密度,不过也对 DRAM 材料提出了更高的要求。

除通过堆叠提升容量外,VS-CAT DRAM 还能降低电流干扰。三星电子预计其将采用存储单元和外围逻辑单元分离的双晶圆结构,因为延续传统的单晶圆设计会带来严重的面积开销。

在分别完成存储单元晶圆和逻辑单元晶圆的生产后,需要进行晶圆对晶圆(W2W)混合键合,才能得到 VS-CAT DRAM 成品,这一过程类似于长江存储在 3D 闪存中使用的 Xtacking 技术。

目前三星电子已在内部实现了 16 层堆叠的 VS-CAT DRAM,美光方面处于 8 层堆叠的水平。

三星电子还在会议上探讨了将 BSPDN 背面供电技术用于 3D DRAM 内存的可能性,Lee Siwoo 认为该技术有助于于未来对单个内存 bank 的精细供电调节。

来源:it之家
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