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美光科技全力推进EUV技术创新,瞄准2025年1γ DRAM工艺量产里程碑

美光 2024-06-28 10:36:36 爱吃爆米花

近日消息,美光在DRAM制造策略上保持独特步伐,未急于采纳EUV光刻技术,目前其所有产品线均采用成熟的DUV光刻技术进行批量生产,这一决策使其在业内显得尤为不同。

不过,美光最终还是无法避免使用 EUV 技术,并于今年开始在其 1γ 工艺上进行试生产,该工艺计划于明年进入大规模量产 (HVM) 阶段。

美光科技首席执行官 Sanjay Mehrotra 在刚刚举行的电话会议上表示:“采用极紫外光刻技术的 1γ DRAM 试产进展顺利,我们正按计划于 2025 年实现量产。”

目前,美光正在日本广岛工厂开发采用 EUV 的 1γ DRAM 制造工艺,这也是首批 1γ 内存的试产地。

Mehrotra 今年 3 月还表示:“我们正在不断改进使用极紫外光刻技术的生产能力,并在 1α 和 1β 节点上实现了 EUV 和非 EUV 工艺流程的等效良率和质量。我们已经开始采用 EUV 进行 1γ DRAM 试产,并计划于 2025 年实现量产。”

除了采用 EUV 技术的 1γ 和 1δ 生产工艺之外,美光还打算在未来几年探索 3D DRAM 架构以及用于 DRAM 生产的高数值孔径 EUV 技术。

当地时间 6 月 26 日,美光公布了第三财季(截至今年 5 月 30 日)业绩报告。数据显示,由于 AI 领域持续高速发展,存储解决方案需求攀升,使美光数据中心收入“如虎添翼”,该财季总营收达到 68.1 亿美元(当前约 496.13 亿元人民币),同比更是大增 81.6%,优于分析师此前预期的 66.7 亿美元(当前约 485.93 亿元人民币)。

展望截至今年 8 月底的第四财季,美光预计营收区间为 74 亿-78 亿美元(当前约 539.11 亿- 568.25 亿元人民币),区间中点基本符合分析师预期的 75.8 亿美元(当前约 552.22 亿元人民币)。

来源:it之家
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