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三星半导体封装工艺革新:由非导电胶技术向模塑底部填胶技术升级过渡

三星(SAMSUNG) 2024-02-21 09:46:27 爱吃爆米花

近日消息,三星电子在半导体封装技术领域展现全新布局,计划从现有的非导电胶(NCF)工艺转向模塑底部填胶(MUF)技术,以实现封装工艺的迭代升级。

传统上,三星电子在构建半导体芯片之间的垂直互连时,倚重非导电胶材料。这种材料能在芯片之间形成一层坚固且柔韧的薄膜,有效防止芯片因受力而产生不必要的弯曲变形,在经由硅通孔(TSV)技术实现高密度封装过程中扮演了关键角色。然而,随着技术需求不断提升,非导电胶在处理难度和生产效率方面的局限性逐渐显现,一定程度上制约了其进一步发展和应用。

为应对这一挑战并提升整体封装效能,三星电子正积极引入模塑底部填胶技术,此技术有望优化芯片内部结构设计,提高生产效率,并且在保障芯片性能的同时,还能简化制造流程,为先进半导体封装工艺打开新的局面。

报道称三星电子计划在硅通孔(through-silicon electrode,TSV)加工过程中,引入使用 MUF 材料。

TSV加工通俗来说,就是在晶圆(Wafer)或者裸晶(Die)上穿出数千个小孔,实现硅片堆叠的垂直互连通道。而 MUF 就是上下连接,缩小半导体之间间隙的材料,有助于紧密凝固和结合各种垂直堆叠的半导体。

从报道中获悉,三星电子已经能够从日本购买了 MUF 相关的设备,通过这一新变化,三星似乎希望改进工艺并提高生产率。

SK Hynix 在第二代 HBM 之前也一直使用 NCF,但从第三代(HBM2E)开始直接改用 MUF,特别是采用 MR-MUF。

业界某相关人士表示:“MR-MUF 方式与 NCF 相比,导热率高出 2 倍左右,不仅对于工艺速度,还是良率等都有很大影响。”

来源:it之家
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