7月11日消息,日本信越化学工业于6月12日正式对外宣布,其成功研发出一款颠覆传统的半导体后端制造设备。这款设备的独特之处在于,它能够直接在封装基板上构建出符合2.5D先进封装技术所需的精细电路图案,这一创新不仅简化了制造流程,更在很大程度上提高了生产效率和灵活性。
这意味着可在 HBM 内存集成工艺中完全省略昂贵的中介层(Interposer),在大大降低生产成本的同时也缩短了先进封装流程。
信越表示,该新型后端设备采用准分子激光器蚀刻布线,无需光刻工艺就能批量形成大面积的复杂电路图案,达到了传统制造路线无法企及的精细度。
结合信越化学开发的光掩模坯和特殊镜头,新型激光后端制造设备可一次性加工 100mm 见方或更大的区域。
根据报道,信越化学目标 2028 年量产这款设备,力争实现 200~300 亿日元(当前约 9.02 ~ 13.53 亿元人民币)相关年销售额。
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